【求是芯星】苏州汉特环保工程有限公司创始人孙平
被访嘉宾简介
本期被访嘉宾来自于求是缘半导体联盟会员单位：苏州汉特环保工程有限公司创始人孙平。
孙平作为资深环保领域资深专家，扎根环保产业20年，先后服务于2家外资公司：美国Donalsson唐纳森，负责中国区项目管理；Handte德国汉德，负责亚太区销售工作。在2010年，孙平在苏州创办汉特环保。
孙平在环保产业造诣颇深，拥有65项空气污染治理专利并且对环保产业的发展有独特见解。欢迎您与我们一起听孙平分享环保产业观点和汉特创业故事。
（图为被访嘉宾汉特环保创始人孙平）
求是缘：在不同的制造业工厂场景：汽车行业、金属加工、生物制药、化工等，所产生的空气污染有何差异？其对于空气净化处理的要求有何不同？
孙平：无论是汽车、化工、生物制药以及半导体等制造企业都会产生污染，但是因生产工艺以及所用材料各有不同，所产生的污染皆不同。我们针对这些污染物的处理统称为APC（空气污染控制，Air Pollution Control），APC可进一步分为三类：粉尘类污染，油雾类污染，废气类污染。废气类污染还可以细分为酸碱废气和VOCs（挥发性有机物，Volatile Organic Compounds），这两种类型的污染物在半导体制造过程中广泛存在。
我们再从环保治理角度来看差异。在空气污染治理方面,环保部门制定并颁布了大气污染物综合排放标准，在此基础上，各地环保部门又结合自身区域内的实际情况，制定了环保地方行业标准。因此我们会看到：在国内不同的地区、不同的行业，执行细则存在差异。相对而言，沿海经济发达区域的环保要求会高于西部内陆区域；正因为沿海区域的环保压力，促使部分制造业迁至内陆，逐渐形成了产业衍化集聚现象。
求是缘：可否请您以半导体的Fab为例，来为我们进一步说明其日常的生产将会产生哪些空气污染？如果处理不善，将会带来哪些损害？
孙平：集成电路的制造工艺流程复杂，单晶硅片生产→前道Fab晶圆制造→后道芯片封测，各道工序段内各个环节产生的化学品污染也不同。
我们以Fab晶圆厂为例，湿法清洗工艺过程中使用大量的酸碱化学品会产生大量的酸碱废气。这些酸碱废气需要搭配使用酸碱Scrubber处理系统来解决。
薄膜沉积工艺中使用不同类型的特气，特气参与并完成反应后会产生大量VOCs.因此每台薄膜沉积设备搭配一个Local Scrubber，来收集VOCs并转由KPR+RTO处理。
Fab本质上就是一个精细化学工厂，工艺要求和生产环境等级要求都很高。一旦生产环境被污染，则会直接影响晶圆的良率。
不同Fab的制造工艺流程大致相同，因此其污染来源和治理手段也类似。但不同点在于：不同工艺制程的Fab对于污染的治理要求严苛度略有差异。在Fab大厂务方面的设计理念、技术要求标准、细节和投入比例等方面也不同。比如先进工艺的Fab在建厂之前，在设计阶段就会充分留出设计冗余量、设置对应的Facility系统备份。既注重于全面、细致的理念设计，更在意技术要求细节的执行到位。
求是缘：空气进化处理是基于怎样的技术原理来对空气进行处理？其完整的处理工艺流程包含哪些部分？
孙平：若要精准高效地处理空气污染，首先我们需要清楚地知道所处理工艺的环境温度、湿度及污染物的化学性、浓度等详细数据；其次，我们需要了解系统的设计界面；此外，针对部分工艺以及当地环保的要求，我们还需要在末端出口处安装实时在线监测，并设置实时动态提醒机制。
空气净化处理的方式和手段会因不同污染物的类型、差异来分门别类地处理。
1.粉尘类污染。粉尘类污染主要来自于如陶瓷加工、硅料破碎等制造场景领域会产生大量的粉尘污染。APC利用物理过滤装置来过滤分离空气和粉尘污染颗粒。
过滤装置根据外观类型可分为：滤筒式、袋式、板式等除尘器。此外，针对不同的温度、湿度环境，会对过滤装置的材料也有不同的要求；如果再按照材料类型则又可进一步划分为：聚酯、PPS、PTFE等。
(图为滤筒除尘器)
2.油雾类污染外形就像小液滴，呈现油雾状。油雾类污染物具备一定的黏性。
3.废气类污染中的酸碱废气，内含气量化学成分。基于酸碱中和反应原理，针对碱性气体，我们使用酸性液体进行中和，发生化学反应后产生氯化钠和水。如果是酸性气体废气，我们则给予其碱性液体来中和使其发生化学反应。
4.VOCs类污染多是碳氢化合物为主。在常温下VOCs（挥发性有机物Volatile Organic Compounds）类化合物非常稳定，但若将VOCs类的碳氢化合物置于780-900°C高温条件下，再配以氧气进行燃烧反应，最终会形成二氧化碳和水而排出。
求是缘：您能否带我们回顾一下：过去几十年来，针对半导体Fab的空气净化处理工艺的技术演进历程？未来的空气净化处理系统方案将沿着哪个方向继续发展？
孙平：先从宏观的产业发展视角来看，半导体产业的迁移轨迹是沿着欧美→日韩→台湾地区而发展；再针对半导体Fab工艺生产过程中所产生的酸、碱、VOCs、油雾等的处理也产生了不同方向的变化。
首先来看Fab环保工程供应商的变化。Fab的APC的处理，从原来的单一供应商服务单一职能，逐渐演变为由一家综合服务供应商提供多样性的功能。
接着，我们看到材料技术的革新进步也为Fab的净化处理工艺带来变化。如Fab厂使用的耗材KPR（Kondensierte Pappe Rotor 沸石浓缩转轮），得益于KPR材料工艺的发展，KPR的寿命变得更长；原来KPR是1年更换一次，现在变成5-10年换一次，降低耗材的更换频率，为客户有效地节约了成本。
求是缘：作为专注于环保领域的综合系统方案公司，您认为汉特环保的能力体现在哪些方面？
孙平：作为一个扎根于环保领域的品牌公司，汉特团队具备总包的资质，能提供总承包的服务，满足客户的前期设计、咨询、中期施工交付和后期运维等需求。
在汉特10多年的发展过程中，我们秉持开放、诚信的理念与全球的生态伙伴保持深度合作。
我们选择的供应商伙伴来自全球，我们会基于需求和全球的优秀供应商合作。汉特环保创始团队来自于德国环保企业，该企业成立于1877年。100多年来专注于粉尘污染源的研究，收集多达800多种的粉尘源并对其深度分析，基于多种工业应用场景来进行高标准设计、实验并形成匹配的污染解决方案。
我们合作的客户也同样遍及全球多个国家。大部分客户对于乙方的选择决策流程比较科学，会综合考量方案、成本、运维、财务等多方面因素。
成立14年来，汉特团队已经服务了上百家大客户，积累了丰富的经验。创业前期我们服务的多为欧美客户，后来随着国内制造业的兴起，我们又开始服务国企大客户和国内民营上市公司。正是通过服务不同行业、不同背景的客户，我们积累了科学理念和经验并在实际服务过程中，反馈并应用到新客户的设计和服务中来。正是多年来持续地学习+后续反馈应用，让我们团队能力得以螺旋式上升。
求是缘：汉特环保的空气净化处理系统方案的构成包括哪些？覆盖下游哪些行业应用领域？
孙平：环保工程的应用行业场景不同，环保方案需要的零部件配置及要求也不同。如不同的温度、腐蚀环境下，对管件、阀门等都有不同的要求。
汉特环保的空气净化处理系统方案由收集系统（前段）、处理段（中段）、动力段（后段）和辅助单元等四大部分组成。
前段收集系统：基于不同的场景、工艺来进行设计，设计基于国标、行业标准。如针对爆炸性粉尘-铝粉，法规中的要求在铝粉在管道内的搬运速度要＞23m/s.
处理段：针对污染物的类型选择不同的类型的环保处理设备来进行处理，针对一些特殊污染物还需要配备特殊的装置，以保证安全性.
后端动力段：主要为风机及控制单元等。
辅助单元：例如在线监测和通讯设施；
汉特环保的所服务的核心领域涵盖：新能源汽车、锂电、半导体类、光伏、生物制药等。
根据我们所服务的下游客户类型可分为：大客户项目类、OEM配套两大类。
针对项目类大客户，我们提供包括设计、生产制造、安装调整及售后服务的交钥匙工程。
针对OEM配套客户，我们更多地则是从产业的供应链渠道达成深度合作。
求是缘：作为技术工程类乙方，服务好甲方的过程是一场挑战。您能否为我们分享一下，在过去的10多年项目过程中，最令您团队印象深刻的项目案例？
孙平：我举两家印象深刻的客户案例，刚好这2家企业分属不同行业、且处于不同服务阶段的标的，各有特色。
第一个案例是某外资某汽车零部件厂客户。在汉特介入前期，甲方正处于项目设计阶段。我们在与甲方沟通过程中获悉客户定义的方案存在某一方面的偏离，在汉特建议后客户仅投入了7-8千元测试验证费用并调整设计要求，最终为客户节约100多万元。
（带清洗空气的袋式过滤器）
第二个案例是国内知名上市半导体公司客户。项目实施到交付阶段时正处于新冠疫情时期，因疫情管控，现场生产交付及团队生活均面临巨大挑战。我们的项目团队克服生活和施工过程中的各种困难，顺利完成了本项目的交付工作。因此也让我们和客户建立了信任，延续了更深远的合作。
求是缘：作为公司的创始人，您带领汉特环保团队一直深耕在空气净化处理领域。回看14年的成长轨迹，您认为公司重要的Milestone（里程碑）分别有哪些？
孙平：2010年原深度合作的某德国环保公司伙伴被瑞士同业并购，我们随后于2010年成立苏州汉特。幸运地是，我们作为初创公司，在创业当年获得来自于法国某建筑材料巨头200万的项目订单。我们又在2011年获德国某汽车企业第一个超千万的项目订单。正是得益于和欧美巨头企业合作，一方面为公司带来了收入，养活了团队；另一方面，更让我们从中学习到科学的管理理念和宝贵的产业经验。
在2022年，我们公司获得苏州企服中心提供的“上市苗圃”的培训计划，进一步培养核心团队现代经营理念。
2023年，我们又和立信会计团队合作，为公司的财务规范化和进一步发展打下了基础。
求是缘：作为求是缘半导体联盟会员单位，您如何看待会员单位与联盟之间的关系？您认为联盟应该在哪些方面继续完善，更契合地服务好产业会员单位？
孙平：从创业会员单位：汉特环保的视角来看，求是缘半导体联盟为我们提供了合适的平台，通过这个平台，我们认识很多优秀的产业会员。联盟4月份在常州承芯Fab举办的厂务沙龙让我印象深刻，参会成员都是业内专家、讨论话题聚焦、深度，让厂务链上的甲乙方共聚一堂、活跃讨论，为产业人创造价值。
作为专业的环保企业，我们也希望能够多和半导体/泛半导体客户探讨交流、提供专业的环保方案，如材料、零部件、设备、Fab、封装厂等。
作为联盟会员单位，我们也希望尽己所能为联盟环保产业发展、打造多元化的产业生态贡献自己的力量。
采访者后记
从国内民营企业的生命周期中位数来看，作为一家民营创业团队，汉特团队走过的14个年头可谓“长久”，且顺利地跨越了高低起伏的产业周期，团队和业绩规模稳步增长。
但若从全球环保产业百年发展轨迹来看，14年还只是一个“蹒跚学步”的阶段。国内环保同业仍需通过扎实地服务先进、多元化客户积累经验，夯实脚力，方能在高度竞争、专业化壁垒高的环保领域脱颖而出，走得更远，逐步迈入基业长青之路。
（图为采访者团队与汉特环保团队合影）
